CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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细径金刚石线锯锯缝内切削液流场仿真研究

陈佳虎 葛培琪

陈佳虎, 葛培琪. 细径金刚石线锯锯缝内切削液流场仿真研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0235
引用本文: 陈佳虎, 葛培琪. 细径金刚石线锯锯缝内切削液流场仿真研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0235
Simulation study of cutting fluid flow field in kerf of fine diameter diamond wire saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0235
Citation: Simulation study of cutting fluid flow field in kerf of fine diameter diamond wire saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0235

细径金刚石线锯锯缝内切削液流场仿真研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0235
基金项目: 光伏单晶硅细线超薄切片加工的基础研究;半导体金刚线切片、研磨装备及工具

Simulation study of cutting fluid flow field in kerf of fine diameter diamond wire saw

  • 摘要:   电镀金刚石线锯广泛应用于单晶硅和蓝宝石等硬脆材料的切片加工领域。随着晶片大尺寸化及锯丝细线化,锯切加工过程中锯缝越来越“深且窄”,切削液在锯切过程中充分发挥作用,对切片质量影响较大。基于计算流体力学数值模拟,通过建立CFD锯缝模型,对金刚石线锯锯切加工材料时,锯缝内切削液流场进行分析研究。仿真分析发现:在小尺寸锯缝内,随着走丝速度增大至25m/s以上,切削液更能充分进入锯缝,在锯丝与工件接触区域及非接触区域充满液体后,接触区域内流体压力在0.179MPa左右,非接触区域流体压力在0.159MPa左右;切削液粘度和表面张力在一定范围内的降低,有利于保证锯缝内切削液的相对饱和与稳定,同时可以使锯缝内切削液压力分布更为稳定。
      

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2023-11-07
  • 修回日期:  2023-12-21
  • 录用日期:  2024-01-16
  • 网络出版日期:  2024-01-16

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