CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺

孙志明 金洙吉 韩晓龙 范康男 司立坤

孙志明, 金洙吉, 韩晓龙, 范康男, 司立坤. 钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2018, 38(1): 73-77. doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.1.0013
引用本文: 孙志明, 金洙吉, 韩晓龙, 范康男, 司立坤. 钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2018, 38(1): 73-77. doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.1.0013
SUN Zhiming, JIN Zhuji, HAN Xiaolong, FAN Kangnan, SI Likun. Process of mechanical polishing yttrium aluminum garnet crystals[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2018, 38(1): 73-77. doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.1.0013
Citation: SUN Zhiming, JIN Zhuji, HAN Xiaolong, FAN Kangnan, SI Likun. Process of mechanical polishing yttrium aluminum garnet crystals[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2018, 38(1): 73-77. doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.1.0013

钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺

doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.1.0013
基金项目: 

国家重点研发计划项目(2016YFB1102205)

详细信息
    作者简介:

    孙志明,男,1992年生,硕士研究生。主要从事钇铝石榴石研磨和抛光工艺研究。E-mail:youming_na@163.com

  • 中图分类号: TG74;TH162

Process of mechanical polishing yttrium aluminum garnet crystals

  • 摘要: 钇铝石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)是性能优良的激光晶体,但其属于硬脆材料(莫氏硬度8.5),在抛光时易产生划痕及凹坑等缺陷。为去除YAG晶体的表面缺陷,用铜盘进行粗磨,并研究载荷和抛光盘转速对晶体平面度和表面粗糙度的影响。结果显示:铜盘可改善晶体表面缺陷,在转速70 r/min、载荷15 kPa时抛光45 min可达到最佳加工效果。再使用IC1000进一步降低晶体表面粗糙度,在抛光盘转速为9 r/min,抛光压力为15 kPa的条件下抛光30 min后,平面度PV可达100 nm,表面粗糙度RMS可达0.9 nm,在体视显微镜下观察无划痕及凹坑。

     

  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  137
  • HTML全文浏览量:  28
  • PDF下载量:  7
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 修回日期:  2017-12-22
  • 网络出版日期:  2022-07-07

目录

    /

    返回文章
    返回