CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响

邓福铭 王双 郭振海 郝岑 赵鑫 解亚娟 许晨阳

邓福铭, 王双, 郭振海, 郝岑, 赵鑫, 解亚娟, 许晨阳. 基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2020, 40(3): 33-39. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005
引用本文: 邓福铭, 王双, 郭振海, 郝岑, 赵鑫, 解亚娟, 许晨阳. 基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2020, 40(3): 33-39. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005
DENG Fuming, WANG Shuang, GUO Zhenhai, HAO Cen, ZHAO Xin, XIE Yajuan, XU Chenyang. Effect of matrix surface temperature field on deposition of nano-diamond films based on ANSYS simulation[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2020, 40(3): 33-39. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005
Citation: DENG Fuming, WANG Shuang, GUO Zhenhai, HAO Cen, ZHAO Xin, XIE Yajuan, XU Chenyang. Effect of matrix surface temperature field on deposition of nano-diamond films based on ANSYS simulation[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2020, 40(3): 33-39. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005

基于ANSYS模拟的基体表面温度场对纳米金刚石膜沉积的影响

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2020.3.0005
详细信息
    作者简介:

    邓福铭,男,1963年生,教授/博导。主要研究方向:金刚石/立方氮化硼及其超硬复合刀具材料研究。E-mail: dfm@cumtb.edu.cn

  • 中图分类号: TQ164

Effect of matrix surface temperature field on deposition of nano-diamond films based on ANSYS simulation

  • 摘要: 为得到高质量的纳米金刚石膜,采用ANSYS软件对基体表面的温度场进行仿真,分别模拟不同热丝数量、不同热丝间距以及不同热丝/基体间距对基体表面温度场的影响并通过试验进一步验证。结果表明:热丝数量与热丝间距对基体表面温度场影响不大,实际应用中取适当值即可。当热丝/基体间距低于5 mm时,基体表面的温度场不均匀、呈波状起伏;当热丝/基体间距大于5 mm时,基体表面的平均温度随热丝/基体间距增大而下降,基体表面的温度场波状起伏现象消失,温度场分布趋于均匀。当热丝/基体间距为7 mm时,基体表面的温度场最均匀,所沉积的纳米金刚石膜纯度最高、内应力最小、质量最优。

     

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出版历程
  • 修回日期:  2020-05-07
  • 网络出版日期:  2022-04-06

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