CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响

丁玉龙 惠珍 熊华军 赵延军 包华

丁玉龙, 惠珍, 熊华军, 赵延军, 包华. 氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(1): 36-40. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007
引用本文: 丁玉龙, 惠珍, 熊华军, 赵延军, 包华. 氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(1): 36-40. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007
DING Yulong, HUI Zhen, XIONG Huajun, ZHAO Yanjun, BAO Hua. Effect of calcium fluoride on grinding performance of resin-bonded diamondgrinding wheel for silicon wafer[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(1): 36-40. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007
Citation: DING Yulong, HUI Zhen, XIONG Huajun, ZHAO Yanjun, BAO Hua. Effect of calcium fluoride on grinding performance of resin-bonded diamondgrinding wheel for silicon wafer[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(1): 36-40. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007

氟化钙对单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮磨削性能的影响

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0007
基金项目: 

国家科技支撑计划课题(2015BAF31B00)。

详细信息
    作者简介:

    丁玉龙,男,1982年生,研究生,高级工程师。主要研究方向:树脂超硬材料砂轮。E-mail: dyl@zzsm.com

  • 中图分类号: TG58;TG74;TQ164

Effect of calcium fluoride on grinding performance of resin-bonded diamondgrinding wheel for silicon wafer

  • 摘要: 在单晶硅片磨削用树脂结合剂金刚石砂轮中分别添加不同体积分数的固体润滑剂氟化钙(CaF2),评估其对砂轮表面结构、砂轮磨损量、磨床主轴电流的影响,并测量和计算单晶硅片的表面粗糙度和表面损伤层厚度。结果显示:随CaF2用量增加,磨床主轴电流、砂轮磨损量、单晶硅片的表面粗糙度值和表面损伤层厚度均下降;当CaF2体积分数为25%时,主轴电流降至约6.4 A,砂轮磨损量降到每片0.448 6 μm,单晶硅片的表面粗糙度RaRyRz分别为0.056 μm、0.382 μm和0.396 μm,表面损伤层厚0.559 6 μm。加入CaF2固体润滑剂可有效改善树脂金刚石砂轮的性能,提高单晶硅片表面的加工质量,且CaF2体积分数为25%时效果最佳。

     

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出版历程
  • 修回日期:  2019-01-17
  • 网络出版日期:  2022-04-06

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