304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

李庆, 陈绍坤, 彭亚男, 秦洪权, 付素芳, 苏建修

文章导航 > 金刚石与磨料磨具工程 > 2016 > 36(5): 21-25

李庆, 陈绍坤, 彭亚男, 秦洪权, 付素芳, 苏建修. 304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

引用本文:

李庆, 陈绍坤, 彭亚男, 秦洪权, 付素芳, 苏建修. 304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

LI Qing, CHEN Shaokun, PENG Yanan, QIN Hongquan, FU Sufang, SU Jianxiu. Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

Citation:

LI Qing, CHEN Shaokun, PENG Yanan, QIN Hongquan, FU Sufang, SU Jianxiu. Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

李庆, 陈绍坤, 彭亚男, 秦洪权, 付素芳, 苏建修. 304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

引用本文:

李庆, 陈绍坤, 彭亚男, 秦洪权, 付素芳, 苏建修. 304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

LI Qing, CHEN Shaokun, PENG Yanan, QIN Hongquan, FU Sufang, SU Jianxiu. Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

Citation:

LI Qing, CHEN Shaokun, PENG Yanan, QIN Hongquan, FU Sufang, SU Jianxiu. Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2016, 36(5): 21-25. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

304不锈钢化学机械抛光工艺参数研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.5.0004

1. 河南科技学院机电学院, 河南新乡 453003;
2. 驻马店技师学院机械工程系, 河南驻马店 463000;
3. 河南理工大学机械与动力工程学院, 河南焦作 454000

基金项目:

国家自然科学基金面上项目资助（NO.51375149）

作者简介:
李庆,男,1990年生,硕士研究生。研究方向为超精密加工。E-mail:1528703296@qq.com

通讯作者:
苏建修,男,1963年生,教授、博士,硕士研究生导师。研究方向为超精密加工。E-mail:dlutsu2004@126.com

中图分类号: TG58
计量
- 文章访问数: 210
- HTML全文浏览量: 38
- PDF下载量: 18
- 被引次数: 0
出版历程
- 修回日期: 2016-08-15
- 网络出版日期: 2022-07-27

Chemical mechanical polishing process parameters of 304 stainless steel

1. School of Mechanical and Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang 453003, Henan, China;
2. Department of Mechanical Engineering, Zhumadian Technician College, Zhumadian 463000, Henan, China;
3. School of Mechanical and Power Engineering, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454000, Henan, China

摘要: 为优化抛光效果、节省成本及提高效率，研究抛光压力、抛光液流量、抛光转速和抛光时间对304不锈钢材料去除率和表面粗糙度的影响。实验结果表明：在抛光压力为13.79 kPa、抛光液流量为15 mL/min、抛光时间为35 min、抛光转速为60 r/min的工艺条件下，304不锈钢去除速率达到226.56 nm/min，表面粗糙度降至6 nm，既节约了成本又保证了最好的表面粗糙度和较高的材料去除速率。
- 化学机械抛光 /
- 304不锈钢片 /
- 材料去除率 /
- 表面粗糙度
Abstract: When chemical-mechanically polishing 304 stainless steel,the effects of polishing pressure,polishing slurry flow rate,polishing speed and polishing time on the material removal rate and surface roughness are studied for better performance,lower cost and higher efficiency.Experimental results show that the material removal rate reaches 226.56 nm/min and the surface roughness reduces to 6nm at the condition of polishing pressure 13.79 kPa,slurry flow rate 15 mL/min,polishing time 35 min,and polishing speed 60 r/min,which ensures the best surface rough degree and higher material removal rate.
- chemical mechanical polishing /
- 304 stainless steel /
- material removal rate /
- surface roughness

参考文献(0)

资源附件(0)

WeChat

点击查看大图

计量

文章访问数: 210
HTML全文浏览量: 38
PDF下载量: 18
被引次数: 0

/

下载: 全尺寸图片幻灯片

分享

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

返回

本系统由北京仁和汇智信息技术有限公司设计开发