化学机械抛光304不锈钢用抛光液成分研究

刘振辉; 陈绍坤; 彭亚男; 李洁静; 苏建修

doi:10.13394/j.cnkij.gszz.2018.2.0016

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化学机械抛光304不锈钢用抛光液成分研究

doi: 10.13394/j.cnkij.gszz.2018.2.0016

1. 河南科技学院机电学院, 河南新乡 453003;
2. 驻马店技师学院机械工程系, 河南驻马店 463000

基金项目:

国家自然科学基金面上项目资助（No.51375149）；河南科技学院“标志性创新工程”计划经费资助。

详细信息

作者简介:
刘振辉,男,1990年生,硕士研究生。主要研究方向为超精密加工。E-mail:1047976972@qq.com

通讯作者:
苏建修,男,1963年生,教授、硕士研究生导师。主要研究方向为超精密加工。E-mail:dlutsu2004@126.com

中图分类号: TG732;TH162;TN27
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出版历程
- 修回日期: 2018-02-12
- 网络出版日期: 2022-07-07

Compositions of slurry used in chemical-mechanically polishing 304 stainless steel

1. School of Mechanical and Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang 453003, Henan, China;
2. Department of Mechanical Engineering, Zhumadian Technician College, Zhumadian 463000, Henan, China

摘要

摘要: 由于304不锈钢的优良特性，未来其将成为柔性显示器衬底的主要材料之一。为提高304不锈钢化学机械抛光的速率和质量，研究不同氧化剂在不同质量浓度或体积浓度及不同pH值下，对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：氧化剂Fe₂O₃、H₂O₂、FeCl₃都在pH=2时抛光效果最佳，氧化剂KMnO₄在pH=10时抛光效果达到最佳。在最佳的pH值下进行抛光，H₂O₂的体积浓度为10 mL/L时，表面粗糙度R_a最好，为4 nm；在FeCl₃质量浓度为4.0 g/L时，材料去除率最高，为209 nm/min。
- 304不锈钢 /
- 化学机械抛光 /
- 氧化剂 /
- 材料去除率 /
- 表面粗糙度
Abstract: 304 stainless steel will become one of the main materials of flexible display substrate due to its excellent characteristics. In order to improve the rate and quality of chemical mechanical polishing of 304 stainless steel, the influences of different oxidants on material removal rate and surface roughness under different mass concentration or volume concentration and pH value are mainly studied. The results show that the oxidants of Fe₂O₃, H₂O₂, and FeCl₃ achieved the best polishing effects in pH=2, and that KMnO₄ achieved the best polishing effect in pH=10. The best surface roughness is 4 nm when the volume concentration of H₂O₂ is 10 mL/L, and the highest material removal rate is 209 nm/min when the mass concentration of FeCl₃ is 4.0 g/L at their optimum pH.
- 304 stainless steel /
- chemical mechanical polishing /
- oxidant /
- material removal rate /
- surface roughness