CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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金刚石基材料在高效散热中的应用及其表面微通道制备技术

邓世博 吴明涛 岳晓斌 雷大江

邓世博, 吴明涛, 岳晓斌, 雷大江. 金刚石基材料在高效散热中的应用及其表面微通道制备技术[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0132
引用本文: 邓世博, 吴明涛, 岳晓斌, 雷大江. 金刚石基材料在高效散热中的应用及其表面微通道制备技术[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0132
Application of Diamond Based Materials in Efficient Heat Dissipation and Surface Microchannel Fabrication Technology[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0132
Citation: Application of Diamond Based Materials in Efficient Heat Dissipation and Surface Microchannel Fabrication Technology[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0132

金刚石基材料在高效散热中的应用及其表面微通道制备技术

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0132
基金项目: 电火花辅助大磨粒金刚石砂轮精密磨削碳化硅技术研究;高导热与高透光功能金刚石材料制备关键技术研究及应用

Application of Diamond Based Materials in Efficient Heat Dissipation and Surface Microchannel Fabrication Technology

  • 摘要:   随着第三代半导体的兴起,电子器件正向着高功率、小型化、集成化方向发展,芯片热流密度急剧增加,热量堆积已成为制约器件性能提升的瓶颈问题。金刚石基材料具有优异的热学性能,基于此材料的高效散热技术已成为解决超高热流密度散热难题的关键方向。本文综述了金刚石基材料在高效散热领域中的应用,并论述了金刚石热沉表面微通道加工的主要方法。金刚石基材料高效散热技术的发展及应用,能够为高热流密度散热难题的解决提供技术支撑。
     

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2023-06-21
  • 修回日期:  2023-10-08
  • 录用日期:  2023-11-03
  • 网络出版日期:  2023-11-06

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