CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石法向力实验研究

刘亿圣 黄辉 王兰青 廖信江

刘亿圣, 黄辉, 王兰青, 廖信江. 多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石法向力实验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0039
引用本文: 刘亿圣, 黄辉, 王兰青, 廖信江. 多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石法向力实验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0039
Experimental study on Normal Force of cutting sapphire with multi-line swinging reciprocating saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0039
Citation: Experimental study on Normal Force of cutting sapphire with multi-line swinging reciprocating saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0039

多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石法向力实验研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0039
基金项目: 福建省智能制造科技经济融合服务平台;国家自然科学基金重点项目;教育部创新团队滚动计划;福建省自然科学基金

Experimental study on Normal Force of cutting sapphire with multi-line swinging reciprocating saw

  • 摘要: 多线摇摆往复式线锯切割加工是目前将蓝宝石晶棒切割成晶圆衬底的主要加工方法,加工过程中法向切割力是反映加工过程稳定性的重要指标。本文测量了多线摇摆往复式线锯切割蓝宝石晶棒过程中产生的法向力 Fn ,跟踪了线网不同位置和不同切割深度法向力的变化规律,以法向力变化幅值Δ Fn 为指标,探究各种工艺参数对加工过程稳定性的影响。实验结果表明:法向力 Fn 与线锯的往复运动、工件的摇摆运动有明确的对应关系,线网前端的Δ Fn 与中后端有明显的不同。线速度、最大摇摆角度、单片耗线量、张紧力、总切割时间等工艺参数对Δ Fn 有着不同的影响。Δ Fn 的波动程度与线锯磨损有着密切的关系。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2023-02-24
  • 修回日期:  2023-06-24
  • 录用日期:  2023-06-27
  • 网络出版日期:  2023-11-06

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