CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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基于协同训练支持向量回归的脆性材料研磨亚表面损伤预测

任闯 盛鑫 牛凤丽 朱永伟

任闯, 盛鑫, 牛凤丽, 朱永伟. 基于协同训练支持向量回归的脆性材料研磨亚表面损伤预测[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0006
引用本文: 任闯, 盛鑫, 牛凤丽, 朱永伟. 基于协同训练支持向量回归的脆性材料研磨亚表面损伤预测[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0006
Prediction of subsurface damage for lapped brittle materials based on Co-training support vector regression[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0006
Citation: Prediction of subsurface damage for lapped brittle materials based on Co-training support vector regression[J]. Diamond & Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0006

基于协同训练支持向量回归的脆性材料研磨亚表面损伤预测

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0006
基金项目: 高硬脆半导体基片智慧生产基础理论及关键技术研究

Prediction of subsurface damage for lapped brittle materials based on Co-training support vector regression

  • 摘要: 为克服固结磨料研磨脆性材料的亚表面微裂纹有效样本数据不足的困境,实现亚表面微裂纹深度的准确预测,采用协同训练支持向量回归算法(Co-training SVR)构建预测模型。对比了不同的标记训练集划分方法对测试集均方误差的影响,然后以监督学习PSO-SVR为对照模型,比较了二者的预测性能,最后以标记训练集未包含的脆性材料微晶玻璃和氟化钙为加工对象,进行研磨及角度抛光实验,并将检测的四组亚表面微裂纹深度值与本文模型的预测值进行对比。结果表明:分开划分法下的Co-training SVR模型具有更小的均方误差收敛值,相比于PSO-SVR模型,本文模型的均方误差和平均绝对百分比误差分别减小约9%和17%,且模型对四组验证实验的预测误差在1.2%~13.8%之间。上述结果表明本文模型可对固结磨料研磨脆性材料的亚表面微裂纹深度进行较为准确可靠的预测。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2023-01-10
  • 修回日期:  2023-02-28
  • 录用日期:  2023-03-03
  • 网络出版日期:  2023-11-06

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