-
摘要: 为了解决在高钴硬质合金表面难以生长高结合力金刚石薄膜的问题，本文采用Cr/CrSiN过渡层，以热丝化学气相沉积在硬质合金沉积了纳米金刚石薄膜（NCD）、亚微晶金刚石薄膜（SMCD）和微晶金刚石薄膜（MCD），并对其结合力进行了研究。结果表明，采用Cr/CrSiN过渡层可以在高钴硬质合金表面沉积出结合力优异的金刚石薄膜。纳米金刚石薄膜结合力最优，亚微米金刚石薄膜，结合力次之，微晶金刚石薄膜结合力最差。当金刚石薄膜晶粒变大时，因金刚石薄膜韧性变差且过渡层碳化变严重，金刚石薄膜结合力变弱。此研究对于开发涂覆高结合力金刚石薄膜的高钴硬质合金工模具具有重要的意义。
-
Key words:
- diamond film /
- cemented carbide /
- adhesion /
- stress
-
点击查看大图
计量
- 文章访问数: 54
- HTML全文浏览量: 11
- 被引次数: 0
下载:
邮件订阅
RSS
