CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

磁流变变间隙动压平坦化加工工艺及其机理研究

蔡志航 阎秋生 潘继生 黄蓓 曾自勤

蔡志航, 阎秋生, 潘继生, 黄蓓, 曾自勤. 磁流变变间隙动压平坦化加工工艺及其机理研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0004
引用本文: 蔡志航, 阎秋生, 潘继生, 黄蓓, 曾自勤. 磁流变变间隙动压平坦化加工工艺及其机理研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0004
Study on the Mechanism and Process Magnetorheological Variable Gap Dynamic Pressure Planarization Finishing[J]. Diamond &Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0004
Citation: Study on the Mechanism and Process Magnetorheological Variable Gap Dynamic Pressure Planarization Finishing[J]. Diamond &Abrasives Engineering. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0004

磁流变变间隙动压平坦化加工工艺及其机理研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2022-0004

Study on the Mechanism and Process Magnetorheological Variable Gap Dynamic Pressure Planarization Finishing

  • 摘要: 为了提高磁流变抛光的抛光效率实现光电晶片的高效高品质超光滑平坦化加工,提出一种磁流变变间隙动压平坦化加工工艺方法。本文研究了不同变间隙条件下蓝宝石晶片表面抛光材料去除率和表面粗糙度随加工时间的变化,深入分析了磁流变变间隙动压平坦化加工机理。结果表明,通过工件对磁流变抛光液施加轴向低频挤压振动,能产生抛光压力的动态变化以及磁流变液的挤压强化效应,抛光效率与抛光效果显著提升。磁流变变间隙动压平坦化加工120 min后蓝宝石晶片的表面粗糙度由Ra 7 nm下降为了Ra 0.306 nm、材料去除率5.519 nm/min,相较恒定间隙磁流变抛光,表面粗糙度降低49%、材料去除率提高55.1%;通过改变变间隙运动速度可以实现对流场特性的调控,选择合适的工件下压速度和工件拉升速度有利于提高抛光效率和表面质量。

     

  • 加载中
计量
  • 文章访问数:  127
  • HTML全文浏览量:  28
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 录用日期:  2022-03-21
  • 收稿日期:  2022-01-28
  • 修回日期:  2022-03-08
  • 网络出版日期:  2022-04-15

目录

    /

    返回文章
    返回