CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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磁流变抛光非球柱面镜的新工艺

罗斌 阎秋生

罗斌, 阎秋生. 磁流变抛光非球柱面镜的新工艺[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(2): 64-71. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013
引用本文: 罗斌, 阎秋生. 磁流变抛光非球柱面镜的新工艺[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(2): 64-71. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013
LUO Bin, YAN Qiusheng. New technology to magnetorheological finishing aspheric cylindrical mirror[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(2): 64-71. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013
Citation: LUO Bin, YAN Qiusheng. New technology to magnetorheological finishing aspheric cylindrical mirror[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(2): 64-71. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013

磁流变抛光非球柱面镜的新工艺

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.2.0013
基金项目: 

NSFC-广东联合基金(No. U180120098)

广东省科技计划项目(No.2016A010102014)。

详细信息
    作者简介:

    罗斌,男,1993年生,博士研究生。主要研究方向:超精密加工。E-mail: 980636191@qq.com

    通讯作者:

    阎秋生,男,1962年生,博士,教授,博士研究生导师。主要研究方向:超精密加工和金属板材精密分切。E-mail: qsyan@gdut.edu.cn

  • 中图分类号: TG58

New technology to magnetorheological finishing aspheric cylindrical mirror

  • 摘要: 高精密的柱面镜光学元件,不但要求其具有极低的表面粗糙度、无表面/亚表面损伤和低的残余应力等,而且需要保证其柱面母线的平行度与垂直度。通过分析传统磨研抛技术和计算机控制的光学表面成型技术(CCOS) 2种技术对柱面镜加工后的表面粗糙度、面形精度和母线误差的影响,归纳2种加工方法的优缺点,针对现有加工方法存在的低效率、高粗糙度、表面/亚表面损伤等问题提出一种具有对称结构的非球柱面镜磁流变抛光新工艺,并通过时间参数实验验证了新工艺的可行性。该工艺降低了柱面镜的表面粗糙度,提高了面型精度,在抛光时间为40 min时,表面粗糙度Ra从1.84 μm降低至0.36 μm,局部面型精度RMS1从 1.91 μm降低到0.24 μm,母线截面面型精度RMS2从4.1 μm下降到0.68 μm。

     

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出版历程
  • 修回日期:  2019-03-07
  • 刊出日期:  2019-04-28

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