CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究

阎秋生 李基松 潘继生

阎秋生, 李基松, 潘继生. 熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(1): 60-65. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011
引用本文: 阎秋生, 李基松, 潘继生. 熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(1): 60-65. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011
YAN Qiusheng, LI Jisong, PAN Jisheng. Experimental research on plane lapping of fused silica glass substrate[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(1): 60-65. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011
Citation: YAN Qiusheng, LI Jisong, PAN Jisheng. Experimental research on plane lapping of fused silica glass substrate[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2019, 39(1): 60-65. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011

熔融石英玻璃衬底的平面研磨加工实验研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.1.0011
基金项目: 

NSFC-广东联合基金(No.U1801259)

广东省研究生教育创新计划项目(No.2018JGXM35,No.2018SFKC15)。

详细信息
    作者简介:

    阎秋生,男,1962年生,博士,教授,博士研究生导师。主要研究方向:超精密加工和金属板材精密分切。E-mail: qsyan@gdut.edu.cn;李基松,男,1993年出生,硕士研究生。主要研究方向:超精密加工。E-mail: leejisong@163.com

    通讯作者:

    潘继生,男,1980年生,博士,副教授,硕士研究生导师。主要研究方向:超精密加工。E-mail: panjisheng@gdut.edu.cn

  • 中图分类号: TG58;TG73

Experimental research on plane lapping of fused silica glass substrate

  • 摘要: 熔融石英玻璃衬底的研磨加工是其超光滑抛光加工的基础工序。采用游离磨料对熔融石英玻璃进行单面粗研和精研加工,研究磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量和研磨时间对石英玻璃表面质量和材料去除率的影响。结果表明:粗研过程中,随着磨料质量分数、研磨盘转速、研磨液流量的增大,工件材料去除率先增大后减小;随着加工时间的延长,表面粗糙度Ra逐渐达到稳定水平。在磨料质量分数4%、研磨液流量20 mL/min、研磨盘转速60 r/min、加工30 min时,熔融石英玻璃衬底的表面粗糙度Ra达 0.11 μm。在熔融石英玻璃衬底的精研过程中,选用平均粒径3 μm的CeO2加工50 min后的表面粗糙度Ra最低,为4.11 nm。

     

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出版历程
  • 修回日期:  2019-01-16
  • 网络出版日期:  2022-04-06

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